塵埃粒子計數(shù)器性能參數(shù)的測量方法

取樣體積

取樣體積測量主要包含塵埃粒子計數(shù)器內(nèi)置流量計流量誤 差以及計時器計時誤

差。流量誤差需要在10000級的潔凈室進行，由于流量計的測量結果與測量環(huán)境有

關，因此測量前需記錄測量時的溫度、濕度以及大氣壓力。流量誤差測量是將標準

流量計接到塵埃粒子計數(shù)器的采樣口，標準流量計相對誤差應不超過±1.5%，塵埃

粒子計數(shù)器顯示結果與標準流量計測試結果比較從而得到流量誤差。計時器計時誤

差是將塵埃粒子計數(shù)器測試結果與秒表測試結果比較得到的，秒表分度值至少為

0.01s。

塵埃粒子計數(shù)器流量誤差應不超過±5%，計時誤差應不超過±1%。

尺寸校準

尺寸校準時，根據(jù)塵埃粒子計數(shù)器測量范圍將單一尺寸的 標準乳膠球顆粒懸浮于

潔凈干燥的空氣中，濃度約為zui大飽和濃度的10%左右，讓塵埃粒子計數(shù)器實測，

同時采用示波器或脈沖高度分析儀監(jiān)測儀器的輸出信號，示波器或脈沖高度分析儀

監(jiān)測儀器顯示的中值電壓即為塵埃粒子計數(shù)器所選粒徑檔相應尺寸對應的閾值電

壓。

根據(jù)塵埃粒子計數(shù)器測量范圍至少選取3種單一尺寸的標準乳膠球顆粒，得到所選

粒徑檔相應尺寸對應的閾值電壓，并根據(jù)廠商推薦的計算公式，計算其他粒徑檔相

應尺寸對應的閾值電壓。

偽計數(shù)

JJF1190-2008是采用自凈時間來對偽計數(shù)進行考核的。塵 埃粒子計數(shù)器先對實驗

室環(huán)境測量1min后，將塵埃粒子計數(shù)器采樣口接過濾器，使塵埃粒子計數(shù)器處

于自凈狀態(tài)，開始計時，連續(xù)進行計時，塵埃粒子計數(shù)器連續(xù)三次測量結果為零時

停止計時，從儀器開始自凈到停止計時之間的時間為自凈時間，自凈時間要求不大

于10min。

標準是自凈1h后，連續(xù)測量20min以上，15min內(nèi)塵埃粒子計數(shù)器計數(shù)結果為

0，25min內(nèi)塵埃粒子計數(shù)器計數(shù)結果不能超過1個，50min內(nèi)塵埃粒子計數(shù)器計數(shù)結

果不能超過4.6個。

zui大飽和濃度

塵埃粒子計數(shù)器在測量時，由于傳感區(qū)重合效應的存在， 隨著顆粒數(shù)量的增加，

儀器檢測到的顆粒數(shù)量將會小于實際的顆粒數(shù)量，并隨顆粒數(shù)量的增多而誤差增

加。測量方法是根據(jù)塵埃粒子計數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應尺寸相同的單

分散球形顆粒，根據(jù)廠商給出的參考zui大飽和濃度采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形

顆粒，采用塵埃粒子計數(shù)器進行計數(shù)，然后調(diào)節(jié)稀釋流量為原來流量的 1 /2 ，同

時采用塵埃粒子計數(shù)器進行計數(shù)測試結果應為原來測試結果的50%±10%，如果大于

60%則廠商給出的參考zui大飽和濃度過高則降低顆粒數(shù)量濃度直至滿足50%±10%的

要求。此時測量的顆粒數(shù)量濃度即為塵埃粒子計數(shù)器的zui大飽和濃度。

計數(shù)響應

當塵埃粒子計數(shù)器使用的時間過長，一些顆?？赡軙趥?感器中形成沉積物，影

響下一次測量結果。計數(shù)響應測量方法根據(jù)塵埃粒子計數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒

徑檔相應尺寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒使其濃

度接近zui大飽和濃度，使用塵埃粒子計數(shù)器連續(xù)測量10次，取zui后一次測試結果，

在塵埃粒子計數(shù)器采樣口接過濾器測試10s后，檢測粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球

形顆粒取*次測試結果，兩次測試結果進行比較，誤差應在±10%之內(nèi)。

分辨率

在實測分辨率時，可采用單分散的標準乳膠球顆粒，顆粒尺寸為塵埃粒子計數(shù)器zui

小粒徑檔對應尺寸的2倍，采用粒子發(fā)生器發(fā)生，粒子為zui大飽和濃度10%，根據(jù)塵

埃粒子計數(shù)器尺寸校準曲線計算出標準偏差，

計數(shù)效率

隨著顆粒尺寸的減小，計數(shù)效率會逐漸降低，因此需對zui 小粒徑檔計數(shù)結果進行

考核。計數(shù)效率測量方法是根據(jù)塵埃粒子計數(shù)器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應尺

寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒，使其濃度約為zui

大飽和濃度的25%，采用參考粒子計數(shù)器與待檢塵埃粒子計數(shù)器同時檢測，參考粒

子計數(shù)器可測量的zui小顆粒尺寸應小于待檢塵埃粒子計數(shù)器可測量的zui小顆粒尺

寸，參考粒子計數(shù)器可選用CPC（凝聚核粒子計數(shù)器）或塵埃粒子計數(shù)器，但它的

計數(shù)效率應小于5%，待檢塵埃粒子計數(shù)器檢測結果與參考粒子計數(shù)器檢測結果比值

應在30%～70%。選擇zui小粒徑檔相應尺寸的1.5～2倍的單分散球形顆粒，采用粒子

發(fā)生器發(fā)生單 分散球形顆粒使其濃度約為zui大飽和濃度的25%，待檢塵埃粒子計數(shù)

器檢測結果與參考粒子計數(shù)器檢測結果比值應在90%～110%。